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第71章 再次简化的实验机

跑完步,吃完早餐还不到8点,路阳驱车赶到申城微电子,还没到上班时间,会议室便挤满了人,看来是昨天的好消息让大家都找回了信心。

会议室内,大部分人都在议论昨天的事。

“大连光源不愧是华国激光领域的龙头,一口气连续突破20,25Kw的极紫外光源。”

“虽然距离国外还有一定差距,但用于EUV光刻机已经足够,这个差距要不了多久就能追上,主要是dpp-EUV是自主研发的,我们在这块已经被卡脖子太久了。”

“这下压力来到23所这边了,要把193纳米波长的极紫外光光变成13.5波长,除了计算模型、控制系统、对设备的要求还极其变态,全都是微观级别的操作。”

“这才是真正的微操啊!”路阳心想,比玩游戏时的微操难万倍。

路阳直接朝柴文政走过去,笑道:“柴教授,好久不见啊!”

柴文政与丁冉还有坐在他们身后的5人应该都是23所的,纷纷起身打招呼,毕竟整个项目是由华芯提供资金的,而且很多关键零部件都是华芯那边采购而来,对路阳的尊敬也是发自内心。

“路总,好久不见,光源部分解决了,接下来压力来到我们这边了,还需要华芯这边多多支持啊。”

柴文政说道,虽然大家明面上都是一个小组的,但暗里各单位都在竞争,当然这种竞争关系是良性的。

丁冉也笑道:“我们现在已经设计出几十套光路布置,但没办法展开试验,镜片的吸收与反射数据只能靠资料中的数据来做预估,我觉得还是要做测试才准确些。”

路阳明白对方的意思,13.5纳米波长的光源需要实验机组装完成后才能获得,对方等不了这么久。

“你们的意思是打造一个真空环境来测试镜片的吸收与反射数据?”

丁冉一怔,看来眼前的年轻老总并非什么都不懂,这就判断出她的意图。

柴文政加入讨论:“只是测试的光源是193纳米的深紫外光,丁冉的意思是用这个数据来推算,但我们现在还无法判断这跟13.5纳米的极紫外光之间是否存在关联。”

路阳翻开手中的资料,找到光源部分看了下,接着问道:

“有没可能做个简单的装置出来,只需要连续两次击打液态金属锡就能获得极紫外光,我们单块镜片测试。”

两人双眼一亮,是啊,支持测试的话,不需要持续的极紫外光,这样就规避掉计算与控制系统,每秒5万次确实难度巨大,但如果只是需要连续击打两次的话就简单很多了。

“路总,您简直就是天才啊?这方案似乎可行。”丁冉燃起希望,有时候局外之人反而能提供新的思路。

柴文政点点头,“可行,甚至还可以把光路布置加入其中,哪怕不是持续光源,也可以获得对应数据。”

193纳米的深紫外光需要连续击打两次液态金属锡,第一次击打使金属锡的面积扩大,第二次击打就可以获得13.5纳米的极紫外光了,这两次间隔的时间极短。

门外响起众人哗然的声音,正是廖老跟白学礼到了。

能看出廖老的精神状态非常好,哪怕是刚从长春赶来的白学礼也是满脸笑容。

“都坐吧,大连光源已经可以制造25Kw放电泵浦极紫外光源,大家应该都知道了吧,这是我们小组取得的又一重大技术突破,今天把大家叫过来,一是分享这个好消息,另一个目的就是激光系统的设计进度。”

也许是好消息的刺激,路阳感觉廖老的声音比平时更加洪亮有力。

“这套激光系统主要解决的就是制造持续的13.5纳米极紫外光,每秒5万次击打,这需要有适配的数学模型,还需要精密的控制设备,计算组那边已经向上面申请神威·太湖之光协助计算,另外数学模型设计方面,在华科院的全力协助下,完成了十几个适配的数学模型,等超算计算后再做最后的选择。”

神威·太湖之光,华国性能排名第一的超级计算机,位于华国无锡。

没想到光刻机的制造连超算都用上了,这再一次刷新了路阳的认知。

“廖老,关于光学系统,我们这边有个想法。”

众人纷纷看向柴文政,廖老也投过来诧异的目光,计划中他们这边需要等到实验机组装完成后才能开展试验,现在只能通过小程序设计光路布置。

柴文政把刚刚跟路阳商议的方案介绍了一遍,刚说完想法。

白学礼的声音便响起:“这个方案不错,再多的设计没有实验支持都不可靠,镜片的实际参数也需要测试后才能最终准确,资料中的参数也不一定都对。”

廖老低头沉思,他需要思考的是整体进度问题,实验机的组装最快也要到春节后,这一个多月的时间不能浪费。

“说说看你们对实验的想法。”

丁冉说道:“廖老,我们只需要打造封闭的真空空间,用镜片做简易的光路布置,加入实施监测系统,最后再使用激光器制造193纳米的深紫外光击打液太金属锡即可。”

廖老继续问道:“你们有没考虑过,光源多次反射后最后的承载工具,还得加入工作台与硅片才行,这其实已经是再次简化版的光刻机了,这个实验空间需要花多少时间?”

柴文政回答道:“实验可以实现三个目标,一是对镜片的反射与吸收数据做收集,第二是光路布置的可行性判断,最后是抵达工作台的极紫外光是否可用,至于需要多久才能建好,还需详细的方案。”

显然这个方案是能加快整个进度的,廖老并未反对,当即在会上展开了落地细节的各项讨论。

最后通过一早上的讨论,廖老同意了该方案,并由柴文政负责,其他人全力配合。

会后路阳来到廖老办公室,向两人汇报了海思那边的进度。

“等镜片到位我跟你去看看吧!得加快进度了,西方可能要提前动手了,不是元旦就是春节过后。”

路阳心惊,蝴蝶效应果然还是不可避免啊!

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